網(wǎng)站首頁 產(chǎn)品系列 CVD設(shè)備/PECVD系統(tǒng) CVD設(shè)備 石墨烯系統(tǒng)
返回列表更新時間:2025-02-27
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
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產(chǎn)品分類Product Categories
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1 石墨烯系統(tǒng)兼容、常壓、微正壓多種主流的生長模式
2 石墨烯系統(tǒng)可以在1000Pa-0.1Pa之間任意氣壓下進(jìn)行石墨烯的生長
3 使用計算機控制,可以設(shè)置多種生長參數(shù)
4 可以制備高質(zhì)量,大面積石墨烯等碳材料,尺寸可達(dá)數(shù)厘米,研究動力學(xué)過程
5 沉積效率高;薄膜的成分精確可控,配比范圍大;厚度范圍廣,由幾百埃至數(shù)毫米,可以實現(xiàn)厚膜沉積且能大量生產(chǎn)
產(chǎn)品性:
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強,很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。
產(chǎn)品組成:
PECVD系統(tǒng)配置:
1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐
2.等離子射頻電源
3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
4.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)
產(chǎn)品特點:
生長溫度低;沉積速率快;成膜質(zhì)量好,適用范圍廣,設(shè)備簡單。
電話:022-26980130
郵箱:15122725930@163.com
地址:天津市北辰經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)雙川道11號
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