CVD（化學氣相沉積）系統，通過氣態前驅體在基體表面發生化學反應，生成固態薄膜涂層，可制備金屬、陶瓷、半導體、金剛石、各類功能薄膜，薄膜均勻性好、附著力強，廣泛用于半導體、新能源、新材料、航空航天、科研高校等領域。

1. 半導體與微電子行業

芯片制造核心工藝：沉積多晶硅、氧化硅、氮化硅、鎢、鈦等介質層與金屬薄膜，用于邏輯芯片、存儲芯片的絕緣層、鈍化層、柵極、金屬互連線路。

MEMS 微機電器件：微傳感器、微執行器，制備絕緣與結構薄膜，保障微型器件絕緣、抗腐蝕。

功率半導體 IGBT、MOSFET：沉積鈍化保護層，提升器件耐壓、可靠性。

2. 光伏與新能源

晶硅光伏電池：制備氮化硅減反鈍化膜，降低光反射，提升電池轉換效率；TOPCon、HJT 電池中沉積多晶硅、鈍化層薄膜。

鈣鈦礦電池：部分 CVD 工藝用于傳輸層薄膜制備。

固態電池：電解質薄膜沉積，開發薄膜型固態儲能器件。

3. 硬質涂層與刀具模具（硬質 CVD）

切削刀具：沉積 TiN、TiCN、Al?O?硬質涂層，提高刀具硬度、耐磨、耐高溫，用于鋼鐵、合金切削加工。

模具、耐磨零部件：提升模具抗磨損、抗咬合，延長沖壓、壓鑄模具使用壽命。

4. 金剛石薄膜制備

CVD 金剛石：制備多晶金剛石薄膜，用于刀具、散熱片、光學窗口、傳感器。

熱管理：金剛石超高導熱，用于高功率芯片、激光器散熱基板。

光學：紅外、紫外光學窗口，抗腐蝕光學鏡片。

5. 航空航天與裝備

高溫防護涂層：在高溫合金構件表面沉積抗高溫氧化、抗熱腐蝕涂層，用于航空發動機熱端部件，抵御高溫燃氣侵蝕。

零部件耐磨防腐：航空精密零部件耐磨涂層，提升復雜工況使用壽命。

6. 顯示與光電子

OLED、Micro?LED：部分 CVD 設備用于絕緣層、鈍化層薄膜沉積。

光學器件：制備各類光學介質膜，濾光片、增透膜，激光器諧振腔薄膜。

7. 科研高校與新材料研發

二維材料制備：石墨烯、MoS?等二維材料薄膜生長，材料科學實驗室主流設備。

新材料開發：新型陶瓷、納米薄膜、功能涂層小批量實驗，新材料機理研究。

8. 醫療器械

生物兼容涂層：沉積類金剛石 DLC 涂層，用于骨科植入件、手術器械，提升耐磨、耐腐蝕、生物相容性。

9. 其它工業領域

防腐涂層：閥門、管件抗腐蝕薄膜，應對強腐蝕工況。

傳感器：氣體傳感器、壓力傳感器功能薄膜。