Name: 觸屏質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
Brand: 中環(huán)電爐
Availability: InStock

產(chǎn)品分類Product Categories

CVD設(shè)備/PECVD系統(tǒng)

PECVD系統(tǒng) CVD設(shè)備

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產(chǎn)品詳情

一、操作便捷性：

1、方便的氣路快速連接口，簡化了流量控制系統(tǒng)與其他設(shè)備的鏈接。

2、配置有三種接口（寶塔式接口、雙卡套式接口、KF接口），方便組合多種連接方式。

二、控制智能化：

采用數(shù)顯流量顯示儀，配合質(zhì)量流量控制器，采集數(shù)據(jù)并控制流量。具有控制精度高，重復(fù)性好，響應(yīng)速度快，穩(wěn)定可靠等特點（氣體質(zhì)量流量控制器）。

三、使用安全性：

1、采用單向閥技術(shù)，使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制，安全。

2、采用混氣灌裝置，使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi)，確保不會泄漏。

四、周邊拓展性：

1、該氣體質(zhì)量控制系統(tǒng)可配我公司生產(chǎn)的真空/氣氛管式電爐及真空/氣氛箱式電爐使用。

2、該氣體流量控制系統(tǒng)可以與我公司生產(chǎn)的真空控制系統(tǒng)組合使用。

3、可為用戶定制多路氣路產(chǎn)品。

液晶觸摸屏控;制工藝流程一目了然;人機交互更加輕松;氣體泄漏報警系統(tǒng);實驗操作更加安全。

規(guī)格

產(chǎn)品型號

氣路數(shù)量

流量控制方式

連接方式

流量計

流量范圍

精度

響應(yīng)時間

工作溫度

工作壓力

外形尺寸mm

重量

標(biāo)準(zhǔn)配件

觸屏質(zhì)量流量

ZL-02C

兩路

觸屏，PLC控制

雙卡套接頭

質(zhì)量流量計

0-500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分）氮氣標(biāo)定

±1%F.S

≤4sec

5-45℃

進氣壓力0.05-0.3Mpa

530x670x1800

80kg

PUΦ6管/每路2米Φ4*15mm不銹鋼襯管5個

ZL-03C

三路

ZL-04C

四路

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