真空氣氛箱式爐是一種可在真空或可控氣氛環境下進行高溫熱處理的精密實驗設備。該設備采用高潔凈度的石英腔體，配合精密的溫度控制系統與氣體氛圍調控系統，能夠滿足對材料潔凈度與處理氣氛有嚴苛要求的工藝。其廣泛應用于金屬熱處理、鋰電池材料、半導體及電子材料研發等領域。