真空管式爐是在真空環境中進行加熱的設備，一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統、供電系統和控溫系統等組成。

 

真空管式爐使用簡單、運行可靠、抗干擾能力強、控制穩定、調整方便、美觀適用等特點。它的爐門打開時有自動斷電功能，大程度了使用者的安全。整個設備與普通重質耐火爐膛相比具有爐膛蓄熱小、升溫快、升降溫速率調節范圍大、節能效果明顯。

 

使用的注意事項有哪些？

 

1、在實驗工作完畢以后，要關特殊氣體，保留N2流動即可。真空氣氛爐管要保持在standby溫度，并要仔細查看其它電源是否關閉，如果沒有就隨手關閉。

2、在晶片進出爐口承接boat的holder的時候，盡量不要碰觸管式爐的爐管口，以免爐管受到污染。

3、在沒有使用到時，要將爐子的長短推桿的前端朝上放置，以免污染。

4、在使用管電爐時還要避免吸入從爐子或者是處理槽所冒出的各種氣體，以便發生中毒的情況。

5、工件--工件車須經清洗干燥后方克進入爐內，防止水份、污物進入爐內。

6、各傳動件發現卡位，限位不準，控制失靈等現象時，應立即排除，不要強操作，以免損壞機件。