真空氣氛爐又名無氧退火爐、真空氣氛燒結爐等，一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統、供電系統和控溫系統等組成。廣泛用于陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機械、耐火材料、新材料開發、特種材料、建材等領域的生產及實驗。

 

真空氣氛爐的原理：

 

物體在通入一定氣體的爐膛內進行燒結的方法。不同的材料選擇適宜的氣氛燒結，有助于燒結過程，提高制品致密化程度、獲得良好的性能的制品。真空氣氛爐常用的有真空、氫、氧、氮和惰性氣體（如氬）等各種氣氛。例如透明氧化鋁陶瓷可用氫氣氛燒結，透明鐵電陶瓷宜用氧氣氛燒結，氮化物陶瓷如氮化鋁等宜用氮氣氛燒結。 有時為保護燒結調協也須在保護氣氛中操作。如鉬絲爐宜通氫，鎢絲爐宜在真空條件下工作。

 

真空氣氛爐的優點：

 

(1)減少了氣氛中有害成分(水、氧、氮)對產品的不良影響。例如要使電解氫氣中含水量降至一40℃的露點是相當困難的，而真空度只要達到133Pa就相當于含水量為一40℃的露點。而獲得這樣的真空度是并不困難的。

(2)對于不宜用還原性或惰性氣體作保護氣氛(如活性金屬的燒結)，或容易出現脫碳、滲碳的材料均可用真空燒結。

(3)真空可改善液相對固相的潤濕性，有利于收縮和改善合金的組織。

(4)真空燒結有助于硅、鋁、鎂、鈣等雜質或其氧化物的排除，起到凈化材料的作用。

(5)真空有利于排除吸附氣體、孔隙中的殘留氣體以及反應氣體產物，對促進燒結后期的收縮有明顯作用。如真空燒結的硬質合金的孔隙度要明顯低于在氫氣中燒結的硬質合金。

(6)真空燒結溫度比氣體保護燒結的溫度要低一些，如燒結硬質合金時燒結溫度可降低100～150℃。這有利于降低能耗和防止晶粒長大。